导读 大家好,小升来为大家解答以上的问题。干法刻蚀,关于干法刻蚀介绍这个很多人还不知道,现在让我们一起来看看吧!1、 干法刻蚀是用等离子
大家好,小升来为大家解答以上的问题。干法刻蚀,关于干法刻蚀介绍这个很多人还不知道,现在让我们一起来看看吧!
1、 干法刻蚀是用等离子体进行薄膜刻蚀的技术。
2、当气体以等离子体形式存在时,它具备两个特点:一方面等离子体中的这些气体化学活性比常态下时要强很多,根据被刻蚀材料的不同,选择合适的气体,就可以更快地与材料进行反应,实现刻蚀去除的目的;另一方面,还可以利用电场对等离子体进行引导和加速,使其具备一定能量,当其轰击被刻蚀物的表面时,会将被刻蚀物材料的原子击出,从而达到利用物理上的能量转移来实现刻蚀的目的。
3、因此,干法刻蚀是晶圆片表面物理和化学两种过程平衡的结果。
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